儀器.jpg "顯微鏡")
機(jī).png "萬 能試驗(yàn)機(jī)")
境試驗(yàn)箱.png "環(huán)境試驗(yàn)箱")
機(jī).jpg "進(jìn)口打標(biāo)機(jī)")
測量機(jī)/x5.jpg "長度測量")
測儀器.jpg "表面光學(xué)檢測")
測量機(jī).jpg "三坐標(biāo)測量")
納米壓痕試驗(yàn)機(jī)產(chǎn)品介紹
日本Elionix ENT-5 納米壓痕試驗(yàn)機(jī)專門對于軟質(zhì)材料（彈性模量：幾GPa或更小）和10nm或更小測試深度的測試可以獲得優(yōu)異的重復(fù)性和穩(wěn)定性，這使得100nm或更小的超薄膜的納米壓痕測試成為可能。
適用于各種材料：
電鍍、硬涂層薄層
樹脂、聚合物薄膜
超薄DLC涂層
功能性樹脂、表面改性層
細(xì)顆粒和粉末材料
第5代Elionix納米壓痕測試儀
通過抑制測量環(huán)境中的干擾實(shí)現(xiàn)高數(shù)據(jù)再現(xiàn)性
可靠精密的“日本制造”
支持從0.5μN(yùn)到2,000mN的廣泛測試負(fù)載
納米壓痕測試
可以獲得薄膜或表層的硬度和彈性模量等機(jī)械特性。分析加載/卸載曲線以確定特性。
分析加載/卸載曲線以確定特性，無需觀察壓痕
符合ISO14577-1 / JIS Z 2255
產(chǎn)品特點(diǎn)：
溫度控制
防止樣品和試驗(yàn)機(jī)熱膨脹
環(huán)境隔離罩內(nèi)溫度控制在±0.1℃
機(jī)架和樣品架/載物臺使用低熱膨脹材料（Nobinite）
減少環(huán)境氣流的影響
高精度定位平臺
采用Elionix電子束光刻系統(tǒng)內(nèi)部開發(fā)的高精度“Kusabi”平臺
0.1um定位步長
以2,000倍的放大倍率觀察材料并設(shè)置測量點(diǎn)。
主動隔振
抗振楔形高精度平臺
主動隔振臺
軟件
日常檢查的彈出提示：壓頭尖端校正，溫度漂移校正。
易于使用的操作性
數(shù)據(jù)再現(xiàn)性
通過抑制振動和溫度變化引起的干擾提高數(shù)據(jù)再現(xiàn)性。
即使連續(xù)測量也能獲得穩(wěn)定數(shù)據(jù)
可維護(hù)性
易于更換裝載裝置
易于更換裝載裝置，將停機(jī)時(shí)間降至最低
可選測試：
表面輪廓測試 | 壓頭的表面輪廓特征。 |
粘彈性試驗(yàn) | 這是獲得彈性模量 E'、損耗彈性模量 E”和損耗系數(shù)的方法。 |
軟化溫度測量 | 這是一種通過使壓頭與樣品上的壓頭接觸恒定負(fù)載，同時(shí)通過加熱支架升高溫度來測量軟化溫度的方法。 |
水下測試 | 硬度測試可在水中進(jìn)行。 |
微粒抗壓強(qiáng)度測試 | 這是用連續(xù)載荷的平面壓頭測量顆粒的斷裂強(qiáng)度/變形強(qiáng)度的方法。 |
顆粒電阻測試 | 顆粒強(qiáng)度測試的附加功能，在壓縮時(shí)測量顆粒的電阻。 |
納米壓痕試驗(yàn)機(jī)技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù)：
負(fù)載/負(fù)載分辨率 | 高負(fù)荷單位：5μN(yùn)～2,000mN／5nN |
加載方式 | 電磁 |
測量范圍 | ±50μm |
測量分辨率 | 0.3pm |
測量方法 | 光學(xué)的 |
樣本量（典型） | φ50ｘt3.5mm |
可測量區(qū)域 | X50mm,Y40mm |
最小增量 | 0.1μm |
納米壓痕試驗(yàn)機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配置
納米壓痕試驗(yàn)機(jī)可選配件
可選配件：
加熱架 | 高負(fù)載單元：Max. 加熱溫度 250℃ |
冷卻架 | 控溫范圍：-30℃～100℃ |
樹脂包埋樣品的樣品架 | 樹脂包埋樣品的樣品架 |
定制樣品架 | 可根據(jù)要求設(shè)計(jì)定制樣品架 |
納米壓痕試驗(yàn)機(jī)相關(guān)視頻
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納米壓痕試驗(yàn)機(jī)資料下載
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